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Chemische Dampfablagerung

CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik
Verfasser: Suche nach diesem Verfasser Arnold, Heinrich
Verfasserangabe: Heinrich Arnold
Medienkennzeichen: Sachliteratur
Jahr: 1982
Verlag: Berlin, Akad.-Verl.
Mediengruppe: Buch
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Zweigstelle: Hauptstelle Standorte: U 061 AB / Magazin / Magazin/LitErbe Status: Präsenzbestand Vorbestellungen: 0 Frist:

Details

Verfasser: Suche nach diesem Verfasser Arnold, Heinrich
Verfasserangabe: Heinrich Arnold
Medienkennzeichen: Sachliteratur
Jahr: 1982
Verlag: Berlin, Akad.-Verl.
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Systematik: Suche nach dieser Systematik U 061, Q 214
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Beschreibung: 158 S. : graph. Darst.
Schlagwörter: Verdampfung; Verfahrenstechnik; ElektronischesBauelement
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Mediengruppe: Buch